用于静电沉积的高压直流电源,主要有以下二种,一种是可控硅移相控制的高压直流电源,简称可控硅电源;另一种是L-C恒流高压直流电源简称L-C电源。可控硅电源加到沉积电场上去的是电压源。它的输出电压是“恒定”不变的。而L-C电源加到电场本体上去的是电流源。它的输出电流是“恒定”不变的。恒流高压电源,一般是指电压输出1000V以上甚至到几十KV,输出阻抗是从无穷小到无穷大的快速 转换,而负载的变化决定了恒流的大小,稳定度小于万分之1
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